RC 6 chemistry-HYBRID pumpen er en kombination af en to-trins roterende skovlpumpe og en to-trins kemisk membranpumpe for optimeret korrosionsmodstand. Membranpumpen opretholder oliebeholderen under vakuum for at holde de delvise tryk af opløsningsmiddel dampe på niveauer under deres kondensationspunkter og for i høj grad at reducere koncentrationen af ilt og korrosive gasser. Derfor har RC 6 chemistry-HYBRID pumpen en meget højere kapacitet til at pumpe opløsningsmiddel dampe og modstand mod aggressive gasser end konventionelle roterende skovlpumper.